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      射頻電源匹配器一體機

      KVMEN?  AGM系列全固態射頻電源匹配器一體機,采用目前技術最穩定可靠的功放和直流模塊,從而使產品提供極其穩定的射頻功率輸出,產品更堅固耐用。

      內部集成匹配器模塊,采用目前最先進的數字式網絡匹配平臺,自動匹配器以快速、精確和可重復的方式,將等離子體的復阻抗與您期望的調諧范圍進行匹配。與傳統模擬調諧方法相比,數字調諧算法和步進電機驅動可產生更快速,更精準和高重復的響應,始終都保持與負載的阻抗點相契合。

      元器件質量高而數量少,使產品的可靠性和設備生命周期最大化。LCD顯示屏既全面又直觀的操作菜單,可在設備的控制面板上直接使用,提供獨一無二的易操作性,提高操作者效率,最小化培訓成本。

      性能參數

      AGM-1303

      功率輸出范圍

      5W-300W

      最大反射功率

      100W

      功率穩定度

      ±0.1%

      諧波分量

      -50dbc

      供電電壓

      單相交流(187V-253V) 頻率50/60HZ

      整機效率

      70%

      功率因素

      90%

      匹配器最大傳輸功率

      500w

      反射功率(最大功率時)

      <3w

      最大負荷電流

      30ARMS

      最大負荷電壓

      7500VRMS

      RF輸出連接器

      50 Ω, L29,或可定制

      匹配時間

      1~3s

      可匹配阻抗實部范圍

      0~80Ω

      可匹配阻抗虛部范圍

      200j~ 200j

      冷卻方式

      強制風冷

      整機重量

      19.5kg

      整機尺寸

      133 mm (H)×440 mm (W)×410 mm (D)


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