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      氣體質量流量控制器


      WARWICK?系列氣體質量流量控制器(MFC)產品是經過實踐驗證的適合多種應用場合的標準產品,流量精準度及性價比高,先進的傳感器和閥控技術,經過實地應用驗證的平臺組件以及高速的模擬/數字線路帶來最精準的氣體流量控制,可以滿足客戶在數值和功能上對于MFC的不同要求。適用于半導體,平板顯示,數據存儲,真空工業,ICP光譜設備及太陽能晶硅制程等不同行業。

      規格

      MC-AN600

      MC-AN601

      MC-AN602

      MC-AN610

      MC-AN611

      量程范圍

      單氣體 2-5000SCCM

      單氣體 5-50SLM

      單氣體   30-200SLM

      單氣體2-5000SCCM

      單氣體  5-50SLM

      閥門類型

      常開式或常閉式螺線管

      接頭

      1/4VCR1/4Swagelok

      密封

      橡膠

      金屬

      響應時間

      到達設定點±2%所需時間≤1SEC

      3SEC

      到達設定點±2%所需時間≤1SEC

      精確性

      ≤滿量程1%

      ≤滿量程2%

      ≤滿量程1%

      線性度

      ≤滿量程±0.5%

      ≤滿量程±1%

      ≤滿量程±0.5%

      重復性

      ≤滿量程±0.2%

      壓差

      7-40PSI

      21-40PSI

      7-40PSI

      漏率

      MAX:1X10ˉ7PA.M3/SECHE

      MAX:1X10ˉ11PA.M3/SECHE

      控制范圍

      滿量程的2-100%

      最高操作壓力

      50PSI

      承受壓力

      最大值150PSI

      通訊模式

      模擬0-5V/4-20MA

      輸入電壓

      +15VDC ±2% at 50MA         -15VDC ±2% at 150MA

      控制信號

      0-5VDC/4-20MA

      輸出模擬信號

      0-5VDC/4-20MA

      功耗

      3.1W

      3.5W

      3.1W

      溫度范圍

      5-45°

      材料

      316LSS,316SS,PTFE,KM45

      重量

      0.9KG

      2.2KG

      1.0KG

      1.2KG

       


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