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      自動匹配器

      KVMEN?  AM系列數字式自動匹配器,采用目前最先進的數字式網絡匹配平臺,利用我們成熟的專業技術力量,AM自動匹配器以快速、精確和可重復的方式,將等離子體的復阻抗與您期望的調諧范圍進行匹配。與傳統模擬調諧方法相比,數字調諧算法和步進電機驅動可產生更快速,更精準和高重復的響應,始終都保持與負載的阻抗點相契合。

      優勢

      功能

      ● 提高生產力、增加產量、降低生產成本
      ● 長期穩定的制程時間保證
      ● 易于安裝和操作
      ● 快速、精確和可重復的阻抗匹配
      ● 最佳的、可直接應用的功能,滿足多種應用領域需求
      ● 多功率和頻率范圍

      性能參數

      AM-1310

      AM-1315

      AM-1320

      頻率

      13.56MHz ±0.005%  27.12MHz\40.68MHz

      最大傳輸功率

      1000w

      1500W

      2000W

      反射功率(最大功率時)

      <3w

      <3w

      <5w

      最大負荷電流

      30ARMS

      30ARMS

      30ARMS

      最大負荷電壓

      7500VRMS

      7500VRMS

      7500VRMS

      傳輸效率

      >90%

      匹配時間

      1~3s

      主電容

      雙真空電容

      可匹配阻抗實部范圍

      0~80Ω

      可匹配阻抗虛部范圍

      -j200~~+j200

      RF輸出連接器

      50 Ω, L29,銅帶輸出,可自定制

      控制接口

      自動手動控制窗口

      冷卻方式

      風冷

      風冷

      風冷+水冷

      供電電壓

      單相交流(187V-253V 頻率50/60HZ

      重量

      7.5KG

      8KG

      尺寸

      430mmDx220mmWx130mmH)或可定制


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